精密平面度測定装置 KURODA SF-640M

三次元測定機の「検査待ち」を解消！大型・重量・特殊素材の平面度を高速スキャンする黒田精工「SF-640M」

「測りづらかったモノ」の課題を解決します

 

■半導体装置用の大型部品 ■ウェハ研磨用の大型治具 ■次世代素材・特殊形状
ウェハ搭載ステージやXYステージのベーステーブルなど、極めて高い平面度が要求される大型・重量部品の品質管理。 高精度なウェハ加工の土台となる、分厚く重いキャリアや定盤の精密な平面度管理。 光学機では反射・透過してしまうサファイアやSiCウェハ、セラミックス（静電チャック等）、複雑なレンズ金型などの評価。

 

 

 

 

製品概要

「平面度を測るために、高価な三次元測定機を何時間も占有していませんか？」
「接触式のプローブで、デリケートな製品に傷がつくリスクを抱えていませんか？」
「光学式の専用機には、重い治具や透明な素材が載せられずお困りではありませんか？」

黒田精工の「SF-640M」は、まさにその隙間を埋めるニッチトップ装置。
最大40kgの大型・重量ワークをそのまま載せられ、材質を問わず高速・高精度に平面度をスキャンする、国内でも類を見ない「平面度測定のスペシャリスト」です。




圧倒的なスピードと「非接触」による品質保護

点ではなく面を連続的に捉えるため、0.5〜50mm/sの走査速度で高速スキャンが可能です。三次元測定機による長時間の検査待ちを解消します。 非接触レーザ変位計を搭載しており、測定対象物に触れることなく評価が可能です。高価なワークに傷をつける不良リスクをゼロにします。

「最大40kg・大型ワーク」をそのまま測れるタフさ

光を利用する専用機では測定が難しい大型部品でも、650×450mmの広い測定範囲をカバーします。 最大ワーク質量は40kgまで対応しており、分厚いステージや重い治具、レンズ金型などもそのままセットして測定可能です。 測定対象物の材質を選ばないため、どのような材料でも黒田精工が測定ソリューションを提供します。

サブミクロン精度を支える「超精密機構」と「見える化」

黒田精工の超精密加工技術によるセラミックスエアガイド（スライダ）とリニアモータ駆動を採用し、総合測定精度0.6µmという高精度を実現しています。 直感的なソフトウェアにより、鳥瞰図や等高線図を用いてワークの「表情」を視覚的に解析・表示できます。サイド部の反り上がりや、手前・奥のダレなども一目で確認可能です。

こんな「測りづらかったモノ」の課題を解決します

■半導体装置用の大型部品：ウェハ搭載ステージやXYステージのベーステーブルなど、極めて高い平面度が要求される大型・重量部品の品質管理。
■ウェハ研磨用の大型治具：高精度なウェハ加工の土台となる、分厚く重いキャリアや定盤の精密な平面度管理。
■次世代素材・特殊形状：光学機では反射・透過してしまうサファイアやSiCウェハ、セラミックス（静電チャック等）、複雑なレンズ金型などの評価。

ワークを視覚的に解析・表示可能です。

製品仕様

測定範囲(X×Y) / Measurement Area

650×450mm
総合測定精度 / Overall Accuracy

0.6µm
繰り返し精度 / Repeatbility

0.1µm
表示分解能 / Display Resolution

0.01µm
測定ヘッド / Measurement Head

非接触レーザ変位計、電気マイクロメータ
最小データ間隔 / Sampling pitch

1µm
測定速度 / Scanning Speed

0.5〜50mm/s
案内ガイド / Scanning Guide way

セラミックス製エアガイド
駆動方式 / Drive System

X: リニアモータ、Y: サーボモータ
最大ワーク質量 / Maximum Work Weight

40kg
外観寸法 / Dimension

幅(W)1980×奥行き(D) 1370×高さ(H) 1850mm
本体質量 / Weight

本体 1,100kg、電装 100kg
必要電源 / Electric Power Supply

AC200V 15A 50/60Hz
圧縮空気 / Compressed Air Supply

クリーンドライエア 0.5MPa 流量100L/min

導入事例

  • 半導体装置メーカー・加工業者様

    ウェハ搭載ステージ、XYステージのベーステーブルなど、高い平面度が要求される大型部品の品質管理に

  • セラミックス・ガラスなどの材料メーカー様

    静電チャック、長尺ガイド、各種ターゲット材など、特殊素材の超精密測定に

  • ウェハメーカー様

    光学式専用機では測定が難しいサファイア・SiC等の特殊素材ウェハの評価や、ウェハ研磨工程で用いる大型治具（キャリア・定盤）の超精密な平面度管理に。

よくある質問

  • 重い定盤や治具を載せても、たわんで精度が落ちたりしませんか？

    精度は落ちません。最大ワーク質量40kgのタフな設計です。重量物を載せても極めて滑らかに駆動するよう、ガイドには黒田精工の超精密加工技術による「セラミックス製エアガイド」を採用しており、総合測定精度0.6µmを担保しています。

  • サファイアのような透明な素材や、黒色のセラミックスでも測定できますか？

    測定可能です。本機は測定対象物を選ばずに評価が可能です。測定ヘッドは「非接触レーザ変位計」だけでなく「電気マイクロメータ」も備えているため、光が透過・吸収されてしまう光学式では測定困難な材料に対しても最適な測定ソリューションを提供します。